等离子体物理工程师 - 上海(J18683)

工作职责 1. 进行射频（RF）等离子体源（如ICP, CCP等）的仿真（使用如COMSOL, CST, ANSYS等工具）与设计，建立射频电源、匹配网络与等离子体负载的系统级模型并进行测试验证。 2. 将射频等离子体特性与射频参数（如功率、频率、脉冲调制）进行关联，通过调整射频参数等优化工艺窗口和设备性能。 3. 设计、优化射频功率传输线路、匹配网络，确保高效、稳定的功率耦合到等离子体腔室；解决射频匹配、驻波、反射功率等问题。 4. 运用等离子体流体模型、粒子模型或混合模型对射频等离子体放电过程进行数值模拟，指导实验设计和机理理解。 5. 设计并执行严谨的DOE实验，收集数据，分析结果，撰写技术报告。 任职资格 1. 硕士及以上学历，等离子体物理、应用物理、电气工程（强电/射频微波方向）、核科学与技术、物理电子学或相关专业背景。 2. 扎实的等离子体物理基础，深刻理解气体放电、等离子体鞘层、输运过程、波动与不稳定性等。 3. 深入理解射频/微波工程原理，包括传输线理论、Smith圆图、阻抗匹配、谐振电路、S参数、射频功率测量等。 4. 熟悉至少一种主流射频等离子体源（如ICP, CCP）的工作原理、优缺点及应用场景。