高级工艺工程师（湿法-H?PO?体系）

岗位职责：1.研究H₃PO₄体系下湿法清洗/刻蚀工艺中的化学反应路径与反应动力学，明确氮化硅、氧化硅等非金属膜及钼、氮化钛、钨等金属膜的刻蚀行为与界面反应机理，建立刻蚀速率与选择性的调控模型；2.  建立H₃PO₄体系化学反应动力学模型，揭示温度、浓度、流量、杂质离子等因素对反应速率和选择性的影响规律，解析关键反应步骤及中间产物；3.  研究H₃PO₄体系长期循环使用过程中药液组分变化规律及副产物生成机制，提出药液寿命延长与再生方案；4.  开展H₃PO₄药液对PEEK、PFA、PTFE、石英等结构材料的兼容性评估，明确材料性能退化边界（导电性、硬度、腐蚀等），为硬件选型与腔体设计提供依据；5.  主导H₃PO₄配套设备的开发与验证，覆盖临港研发线先行验证及客户端量产导入阶段，推动工艺从研发到量产的落地转化。任职要求：1.博士学历，无机化学、物理化学、化工、集成电路、材料等相关专业；2.熟悉化学反应动力学、热力学及溶液化学，具备扎实的理论推导与实验设计能力，能独立研究刻蚀机理并构建动力学模型；3.掌握HPLC、IC、ICP-MS等药液成分分析方法，有半导体湿法药液基础理论研究经验者优先；4.具备材料兼容性评估经验，能系统分析药液对高分子材料及石英部件的影响机制；5.了解湿法蚀刻工艺过程仿真工具（如COMSOL、Fluent）者优先，能结合仿真辅助药液配方与硬件结构优化；6.具备跨团队协作能力，能支持国内及国外产品验证工作，推动工艺在研发及量产端的落地。