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返回简章2026-09-13 更新

高级工艺工程师(炉管/前驱体)

上海
博士
不限专业
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职位介绍
岗位职责:1.炉管相关薄膜沉积的机理研究,包括前驱体化学特性、界面反应机理、分子动力学模拟、以及温度场、气流场、压力场等多物理场耦合仿真分析等。2.主导High  K超结结构介电材料的机理研究,参与新机台开发的技术规划与方案设计。3.开展满足先进工艺高深宽比要求的硅薄膜沉积特性研究,优化薄膜均匀性及台阶覆盖能力。4.推进半导体新型前驱体的基础研究,评估其在先进节点中的应用潜力;建立前驱体性能评估体系,制定筛选标准与测试流程,打通前驱体研发的闭环链路。5.研究前驱体分子结构→沉积行为→薄膜电学/力学性能之间的构效关系,为前驱体设计与工艺优化提供理论指导。6.整合Logic/存储/功率器件等芯片领域的前沿技术发展趋势,参与规划公司炉管工艺未来发展方向;7.围绕新型前驱体、沉积工艺等方向布局核心专利,构建技术壁垒。任职要求:1.博士学历,材料科学与工程、化学、流体力学、半导体物理或相关专业;2.  研究方向为以下之一者优先:薄膜生长与沉积机理、硅/氮化硅/氧化硅薄膜沉积、TiN薄膜沉积、TiO₂介电材料沉积及机理、ALD原子层沉积、半导体前驱体开发、高深宽比填充沉积、腔室多物理场(温度/气流/压力)耦合仿真;3.擅长分子界面反应、分子动力学等理论计算与模拟方法者优先;熟悉SEM、TEM、XPS、椭偏仪等薄膜表征手段。4.熟悉前驱体合成、纯化、输运及安全评估流程者优先;了解主流炉管设备(如TEL、AMAT、KE等)及ALD/CVD腔体设计原理者优先。5.熟悉SEM、TEM、XPS、椭偏仪等薄膜表征手段,具备从基础研究推动工程应用的能力,逻辑严谨,善于跨团队协作。6.英文良好,能流畅阅读专业文献,发表过薄膜沉积或半导体材料相关高水平论文者优先。
所属批次:盛美半导体设备(上海)股份有限公司 2027届校园招聘简章企业职位库在招档案